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產(chǎn)品介紹

層流式質(zhì)量流量計原理：
層流式質(zhì)量流量計的工作原理是基于哈根-泊肅葉定律（Hagen-Poiseuille Law）該定律指出，在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，圓管內(nèi)的不可壓縮流體在層流狀態(tài)下流動時，其體積流量與管道兩端的壓降呈線性關系。通過讀取層流元件兩端的壓差信號，從而計算出體積流量，再對該體積流量進行壓力和溫度修正，從而獲得標準的體積流量和質(zhì)量流量數(shù)值。

層流式質(zhì)量流量計的測量：
具體來說，層流式質(zhì)量流量計由層流元件和差壓傳感器組成3。在層流元件中，流體以層狀運動，即每個質(zhì)點沿著與管軸平行的方向作平滑直線運動1。差壓傳感器測量層流元件兩端的壓差信號，這個信號與流體體積流量成正比3。通過這個壓差信號，可以計算出流體的體積流量，并進一步進行壓力和溫度修正，以得到標準體積流量和質(zhì)量流量圖1。

層流式質(zhì)量流量計的優(yōu)勢解析：
高精度：由于層流狀態(tài)下流體參數(shù)的規(guī)律性，層流差壓式質(zhì)量流量計能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的流量測量。其測量精度通常優(yōu)于傳統(tǒng)壓差式流量計，特別是在微小流量和低壓流體的測量中表現(xiàn)尤為突出。
快速響應：層流差壓式質(zhì)量流量計的響應時間非常快，這主要得益于層流元件兩端壓差信號的快速獲取。壓力波的傳播速度（即聲波速度）決定了壓差信號的獲取速度，從而確保了流量計的快速響應能力。
高重復性：流體的層流狀態(tài)具有的穩(wěn)定性，這使得層流差壓式質(zhì)量流量計的測量結(jié)果具有很高的重復性。在常規(guī)環(huán)境中，氣體通常呈湍流狀態(tài)運動，而層流差壓式流量計通過層流元件使氣體保持層流狀態(tài)，從而提高了測量的穩(wěn)定性和重復性。

層流式質(zhì)量流量計的注意事項：
需要注意的是，層流式質(zhì)量流量計必須在確保流體在層流狀態(tài)下流動，才能維持體積流量與壓差之間的線性關系，從而確保測量的高精度。
層流式質(zhì)量流量計的應用：
廣泛應用于半導體、集成電路工業(yè)、特種材料、化學工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中。半導體產(chǎn)業(yè)中常用的CVD、Diffusion工藝，均是通過層流式質(zhì)量流量計來精確地控制產(chǎn)品的鍍膜和摻雜質(zhì)量。另外，刻蝕等工藝過程也大量使用到MFC來控制工藝質(zhì)量。
眾所周知，半導體行業(yè)的原材料成本非常高昂，工藝非常復雜，因此對于產(chǎn)品質(zhì)量的控制就顯得尤為重要。對在半導體行業(yè)廣泛使用的MFM/MFC進行周期性校準，是保證了MFM/MFC長期穩(wěn)定工作的有效方法。
綜上所述，層流式質(zhì)量流量計是以其高精度、快速響應、高重復性和多氣體適應性等優(yōu)勢，在各行各業(yè)中得到廣泛應用。其使用從而改善了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，以及增強產(chǎn)品競爭力。

產(chǎn)品標簽：

層流式質(zhì)量流量計

熱式流量計

上一個：科里奧利流量計

下一個：科里奧利質(zhì)量流量計

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